تصميم مجموعة مرآة المسح الضوئي لخليط الخفيفة

الهيكل الخلفي لمرآة المسح الضوئي الخفيف للوزن

كان جسم المرآة مصنوعًا من كربيد السيليكون ، وكان الهيكل الداعم مصنوعًا من الصلب الإنديوم. يتم محاكاة صلابة الدعم ودقة السطح لتجميع مرآة المسح وتحليلها من خلال تحليل العناصر المحدودة والتحقق من الاختبار الفعلي.

نموذج العناصر المحدودة لتجميع مرآة المسح

تظهر النتائج أن الحد الأقصى لقيمة متوسط ​​الجذر المربع (RMS) لخطأ شكل مرآة المسح هو 9.705nm ، ونتيجة الاختبار الفعلية 10.125nm ، والخطأ هو 4 ٪ ويفي بمتطلبات أن قيمة RMS يجب أن تكون أقل من 12.6nm في حالة الجاذبية في جميع الاتجاهات وعزم الدوران الذي يحركه العمود.

نتيجة اختبار دقة السطح

كان التردد الطبيعي من الدرجة الأولى للمكون 302.25 هرتز ، والذي استوفى متطلبات الصلابة. تُظهر النتائج أن الطريقة المقترحة معقولة وفعالة ، والتي تحل المشكلة التي يصعب ضمان بنية الوزن الخفيفة والتصلب الهيكلي ودقة السطح البصري في وقت واحد.

تجميع مرآة المسح

استنادًا إلى مبدأ المخروط المخروطي والمفصلات المرنة ، يتم اقتراح مجموعة مرآة المسح بدعم متكامل للظهر. يتم تحديد المعلمات الرئيسية للرابط المرن من خلال المحاكاة العددية والحساب التكراري ، والذي يوفر مرجعًا فنيًا لتحسين المعلمات لهيكل الدعم المرن.